เมื่อเทียบกับการฉีดพ่นสองของเหลวแบบดั้งเดิมการพ่นด้วยอัลตราโซนิกมีข้อดีคือความสม่ำเสมอของการเคลือบสูงการใช้วัตถุดิบสูงความแม่นยำในการควบคุมความหนาของเคลือบสูงความหนาของเคลือบทินเนอร์การกระเด็นน้อยลงไม่อุดตันของหัวฉีดและค่าบำรุงรักษาต่ำ เมื่อเทียบกับการระเหยสูญญากาศ CVD และกระบวนการเคลือบอื่น ๆ การพ่นอัลตราโซนิกเป็นกระบวนการเคลือบฟิล์มบางที่ประหยัดกว่าโดยเฉพาะอย่างยิ่งสำหรับการเตรียมฟิล์มในพื้นที่ขนาดใหญ่ ต้นทุนของอุปกรณ์ฉีดพ่นอัลตราโซนิกต่ำกว่าอุปกรณ์เคลือบสูญญากาศมาก ให้เราแนะนำสั้น ๆ เกี่ยวกับข้อดีหลักของการฉีดพ่นอัลตราโซนิก
ความสม่ำเสมอของการเคลือบสูง
ความสม่ำเสมอของการกระจายตัวของอนุภาคของเหลวหลังจากถูกทำให้เป็นละอองโดยหัวฉีดอัลตราโซนิกนั้นสูงกว่าของหัวฉีดสองของเหลวหรือที่เรียกว่าปืนฉีดลมอย่างมีนัยสำคัญเพื่อให้ความสม่ำเสมอของการเคลือบหลังจากการพ่นหัวฉีดอัลตราโซนิกได้รับการปรับปรุงอย่างมีนัยสำคัญ โดยทั่วไปความสม่ำเสมอของการเคลือบสเปรย์อัลตราโซนิกสามารถเข้าถึงได้มากกว่า 95%
2. การใช้วัตถุดิบสูงและการสาดน้อย
เนื่องจากการฉีดพ่นด้วยอัลตราโซนิกเป็นการทำให้เป็นละอองของเหลวโดยการสั่นสะเทือนอัลตราโซนิกการเคลือบจึงไม่ถูกทำให้เป็นละอองในระหว่างกระบวนการทำให้เป็นละอองนั่นคือกระบวนการทำให้เป็นละอองไม่ต้องการความดันและจะใช้ความดันก๊าซพาหะที่ต่ำมากเท่านั้นหลังจากการทำให้เป็นละอองเพื่อขนส่งละอองของเหลว ช่วยลดการตีกลับและการกระเซ็นของของเหลวที่เกิดจากอากาศแรงดันสูงที่พ่นโดยของเหลวสองชนิดจึงช่วยเพิ่มอัตราการใช้สารเคลือบได้อย่างมาก อัตราการใช้วัตถุดิบของการฉีดพ่นอัลตราโซนิกนั้นมากกว่าการฉีดพ่นด้วยอากาศธรรมดาถึง 4 เท่าและอัตราการใช้สามารถเข้าถึงได้มากกว่า 90%
3. ความแม่นยำในการควบคุมความหนาของเคลือบสูง
ปัจจัยหลักที่มีผลต่อความถูกต้องของความหนาของผิวเคลือบคืออัตราการไหลของสารเคลือบนั่นคือปริมาณของวัสดุที่บรรทุกบนพื้นผิวต่อหน่วยเวลา หัวสเปรย์อัลตราโซนิกไม่มีแรงดันใด ๆ ต่อของเหลวดังนั้นจึงสามารถควบคุมการไหลของของเหลวของสเปรย์เคลือบด้วยอะตอมได้อย่างสมบูรณ์โดยปั๊มสูบจ่ายที่มีความแม่นยำสูงจึงสามารถควบคุมการไหลของสเปรย์ที่มีความแม่นยำสูงได้ เช่นปั๊มเข็มฉีดยาที่มีความแม่นยำสูงความแม่นยำในการควบคุมการไหลของมันสามารถเข้าถึงระดับพิโคลิเทอร์ต่อวินาทีและการออกแบบไมโครช่องของหัวฉีดอัลตราโซนิกยังสามารถบรรลุความแม่นยำในการควบคุมโดยรวมของนาโนลิตรต่อวินาที
4. ความหนาของผิวเคลือบบาง ๆ สามารถเข้าถึงได้หลายสิบนาโนเมตร
เนื่องจากปริมาณสเปรย์ของหัวสเปรย์อัลตราโซนิกสามารถให้อัตราการไหลที่คงที่ต่ำมาก (0.001 มล. สำหรับวัสดุนาโนบางชนิดความหนาของฟิล์มแห้งอาจต่ำถึงหลายสิบนาโนเมตร สามารถใช้ในการเตรียมฟิล์มบางแก้วเช่นฟิล์มนำไฟฟ้าโปร่งใสฟิล์มป้องกันแสงสะท้อนป้องกันแสงฟิล์มป้องกันความร้อนและฟิล์มที่ไม่ชอบน้ำ
5. ไม่มีการอุดตันของหัวฉีดและค่าบำรุงรักษาต่ำ
เนื่องจากหัวฉีดอัลตราโซนิกเป็นของเหลวที่ถูกทำให้เป็นละอองโดยการสั่นของอัลตราโซนิกและอนุภาคที่ถูกทำให้เป็นละอองจะถูกกำหนดโดยความถี่การสั่นของอัลตราโซนิกจึงแตกต่างจากหัวฉีดของเหลวสองหัว เส้นผ่านศูนย์กลางของหัวฉีดไม่จำเป็นต้องเล็กมากเพื่อให้ได้อนุภาคที่เป็นละอองละเอียดดังนั้นจึงช่วยลดความเสี่ยงของการอุดตันของหัวฉีด
